Barril de aislamiento de cámara de horno de SiC de alta pureza
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO
El barril de aislamiento de carburo de silicio recristalizado es un componente clave en equipos industriales de alta temperatura y alta gama, que exhibe ventajas irremplazables especialmente en procesos de tratamiento de alta temperatura en semiconductores, fotovoltaicos, cerámicas especiales y otros campos. La función del barril de aislamiento de la cámara del horno es proteger el entorno de producción de fabricación de chips: un entorno de producción ultra limpio y ultra preciso.
El cilindro aislante de la cámara del horno está compuesto de nitruro de silicio, también conocido como cilindro aislante de carburo de silicio. Este cilindro garantiza la estabilidad del entorno, no la temperatura. Mantiene un microclima constante, puro e inerte. Los cilindros aislantes de SiC son contenedores de alta tecnología que protegen obleas con un valor millonario y garantizan el rendimiento del chip. El cilindro aislante de SiC es un componente esencial en la fabricación de chips.
Características del barril de aislamiento de RSiC
1、Estabilidad de temperatura ultra alta: límite de resistencia a la temperatura, la temperatura de uso a largo plazo puede alcanzar los 1600 ℃, tolerancia a corto plazo 1800 ℃.
2、Retención de resistencia a altas temperaturas: la resistencia a la compresión a 1500 ℃ del cilindro de aislamiento de carburo de silicio es superior a 100 MPa, mientras que la resistencia del material de aislamiento de alúmina decae en más del 50% a la misma temperatura.
3、Máxima eficiencia térmica: El cilindro aislante de SiC presenta una baja conductividad térmica: 0,8-1,2 W/(m·K) (a 800 ℃), una reducción del 40 % en comparación con los materiales de carburo de silicio convencionales, gracias a un diseño especial de estructura porosa. Estructura reflectante multicapa: utilizando material de RSiC, con alta reflectividad térmica por radiación.
4、Inercia química: Resistencia a la corrosión: el cilindro aislante de SiC puede resistir gases ácidos como HCl, HF, vapor de H2SO4, ambientes alcalinos como sal fundida de Na2CO3 y metales fundidos como Al, Cu, Ag, etc.
5、El barril de aislamiento de SiC tiene una larga vida útil.
CARACTERÍSTICAS Y BENEFICIOS
· Resistencia a altas temperaturas
· Resistencia al choque térmico
· Alta conductividad térmica
· Alta resistencia mecánica
· Resistencia a ácidos y álcalis
· Resistencia al desgaste
PARÁMETRO PRINCIPAL
Industria de equipos para hornos de alta temperatura | RSiC |
Contenido de SiC (%) | ≥99% |
Densidad aparente (g/cm3) | 2,65~2,75 |
Porosidad aparente (%) | <17 |
Resistencia a temperatura ambiente (MPa) | 90~100 |
Resistencia a 1300 ℃ (MPa) | 100-110 |
Módulo de elasticidad a 20℃ | 240 |
Conductividad térmica a 1200 ℃ (W/mk) | 36 |
Expansión térmica x10-6/℃ | 4.6 |
Temperatura máxima de uso (℃) | 1650℃ |
Dureza a 20°C (Kg/mm2) | 2000 |
Tenacidad a la fractura a 20° (MpaxM1/2) | 2.0 |
DETALLE DEL PRODUCTO
El cilindro de aislamiento tiene una pureza ultra alta: la pureza del cuerpo sinterizado es superior a 3 N y la precisión de procesamiento puede alcanzar los 0,01 mm.
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