Los tubos de hornos semiconductores (como los que se utilizan en hornos de difusión, hornos de oxidación, etc.) deben cumplir requisitos estrictos como pureza ultra alta, estabilidad a altas temperaturas y resistencia al choque térmico. El tubo de horno RSiC se ha convertido en un material común debido a sus excelentes propiedades. La pureza del cuerpo sinterizado es superior a 3N y la precisión de procesamiento es de 0,01 mm.
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El soporte de obleas de RSiC es un componente esencial en la fabricación de semiconductores y los procesos de crecimiento de cristales, diseñado específicamente para transportar obleas de silicio o sustratos de carburo de silicio en entornos de alta temperatura. Este soporte esencial de 30 cm proporciona un soporte fiable durante las distintas etapas del procesamiento térmico.
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El tubo de protección de termopar de carburo de silicio unido con nitruro de silicio (NSiC) es un componente clave en el campo de la medición de alta temperatura. El tubo de protección de termopar NSiC exhibe un excelente desempeño en entornos extremos que requieren resistencia a altas temperaturas, resistencia al desgaste y estabilidad térmica.
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El barril de aislamiento de la cámara del horno es un componente clave del campo térmico utilizado en procesos de fabricación de semiconductores, como el crecimiento de silicio monocristalino y el tratamiento térmico de obleas. El barril de aislamiento debe cumplir con los requisitos de temperatura extremadamente alta, alta pureza y excelente aislamiento térmico.
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La placa de protección térmica del horno es el componente principal del semiconductor de alta temperatura, la energía fotovoltaica. Equipo de sinterización de material nuevo de placa de protección térmica RSiC. La placa de protección térmica RSiC tiene las características de resistencia a altas temperaturas, baja pérdida de calor y larga vida útil.
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La paleta voladiza de carburo de silicio recristalizado es un componente cerámico de alto rendimiento, utilizado principalmente en industrias como la química, la metalúrgica, la protección del medio ambiente y los semiconductores debido a su resistencia superior a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, resistencia al desgaste y buena estabilidad al choque térmico.
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La nave de obleas de SiC es un transportador clave en los procesos de fabricación de semiconductores y de crecimiento de cristales, y se utiliza principalmente para transportar obleas de silicio o sustratos de carburo de silicio en entornos de alta temperatura. La oblea de carburo de silicio tiene ventajas como alta pureza, resistencia a altas temperaturas (por encima de 1600 ° C), resistencia a la corrosión ácida y alcalina, bajo coeficiente de expansión térmica y alta conductividad térmica.
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La nave de obleas RSiC es un transportador clave en los procesos de fabricación de semiconductores y de crecimiento de cristales, y se utiliza principalmente para transportar obleas de silicio o sustratos de carburo de silicio en entornos de alta temperatura. En los hornos de difusión horizontales se utilizan naves de obleas horizontales.
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El portador de oblea RSiC es un portador clave en la fabricación de semiconductores y procesos de crecimiento de cristales, utilizado principalmente para transportar obleas de silicio o sustratos de carburo de silicio en entornos de alta temperatura. El portador de oblea semiconductor tiene ventajas como alta pureza, resistencia a altas temperaturas (por encima de 1600 ° C), resistencia a la corrosión ácida y alcalina, bajo coeficiente de expansión térmica y alta conductividad térmica.
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Tubo de horno de carburo de silicio recristalizado (RSiC): El tubo de horno de carburo de silicio recristalizado es un componente clave en los equipos de fabricación de semiconductores, y se utiliza principalmente en cámaras de proceso de alta temperatura (como hornos de crecimiento epitaxial, implantación iónica y difusión). La pureza del cuerpo sinterizado es superior a 3 N y la precisión de procesamiento puede alcanzar los 0,01 mm, cumpliendo así los requisitos de pureza ultraalta, resistencia a la corrosión y precisión de tamaño.
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La navecilla de obleas de RSiC es un componente esencial en la fabricación de semiconductores, diseñada para asegurar las obleas durante procesos de alta temperatura. Ofrecen resistencia a altas temperaturas, excelente resistencia al choque térmico, excelente resistencia a la corrosión ácida y alcalina, alta pureza y estabilidad estructural.
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El tubo de protección de termopar de carburo de silicio recristalizado (RSiC) es un componente clave en el campo de la medición de alta temperatura. El tubo de termopar RSiC exhibe un excelente desempeño en entornos extremos que requieren resistencia a altas temperaturas, resistencia al desgaste y estabilidad térmica.
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