Tubo de horno de RSiC de alta pureza para semiconductores
DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO
El horno de semiconductores, piedra angular de la fabricación moderna de chips, se basa en un componente esencial: el tubo de horno de RSiC. Este tubo de horno de carburo de silicio de alta pureza es el núcleo de los hornos de difusión y oxidación, tanto verticales como horizontales. Dentro de este tubo, las obleas, sobre soportes especializados, se someten a procesos precisos de alta temperatura en atmósferas controladas. Como plataforma indispensable de alta temperatura, el tubo de horno de RSiC es fundamental para procesos clave de semiconductores, como la oxidación térmica, la difusión, la deposición líquida por vertido de partículas (LPCVD) y el recocido, ofreciendo uniformidad, estabilidad y capacidad de producción inigualables.
Características del tubo de horno de RSiC
La aplicación de materiales de carburo de silicio en equipos semiconductores de alta temperatura aporta varias ventajas críticas:
Estabilidad excepcional a altas temperaturas: capaz de funcionar de forma prolongada en entornos superiores a 1600 °C, con tolerancia a corto plazo de hasta 1800 °C.
Resistencia superior al choque térmico: la combinación de alta conductividad térmica y un bajo coeficiente de expansión térmica permite que el tubo de horno de carburo de silicio resista ciclos rápidos de calentamiento y enfriamiento sin sufrir daños.
Excelente inercia química: exhibe una excelente resistencia a la corrosión de ácidos, álcalis y diversos gases de proceso, lo que garantiza la pureza del proceso.
Alta resistencia mecánica y dureza: mantiene la integridad estructural y resiste la deformación bajo altas cargas térmicas y mecánicas, lo que garantiza una durabilidad a largo plazo.
Distribución uniforme del campo térmico: diseñado para mantener un perfil de temperatura extremadamente consistente, con un gradiente de pared mínimo, lo que es crucial para la uniformidad del proceso en todas las obleas.
CARACTERÍSTICAS Y BENEFICIOS
Resistencia a temperaturas extremas: Garantiza rendimiento y longevidad en los procesos térmicos más exigentes.
Capacidad de ciclo térmico rápido: el robusto tubo del horno RSiC puede soportar velocidades de calentamiento y enfriamiento agresivas, lo que aumenta la productividad y reduce los tiempos de ciclo.
Alta conductividad térmica: garantiza una transferencia de calor eficiente y un entorno térmico estable y uniforme dentro del tubo del horno de carburo de silicio.
Integridad estructural superior: proporciona un soporte confiable y sin combas para las embarcaciones de obleas durante una vida útil prolongada.
Excelente resistencia a la corrosión y al desgaste: protege contra productos químicos de proceso agresivos y la erosión atmosférica, minimizando la generación de partículas y la contaminación.
PARÁMETRO PRINCIPAL
Industria de equipos para hornos de alta temperatura | RSiC |
Contenido de SiC (%) | ≥99% |
Densidad aparente (g/cm3) | 2,65~2,75 |
Porosidad aparente (%) | <17 |
Resistencia a temperatura ambiente (MPa) | 90~100 |
Resistencia a 1300 ℃ (MPa) | 100-110 |
Módulo de elasticidad a 20℃ | 240 |
Conductividad térmica a 1200 ℃ (W/mk) | 36 |
Expansión térmica x10-6/°C | 4.6 |
Temperatura máxima de uso (℃) | 1650℃ |
Dureza a 20°C (Kg/mm2) | 2000 |
Tenacidad a la fractura a 20° (MpaxM1/2) | 2.0 |
DETALLE DEL PRODUCTO
En la fabricación de semiconductores, el tubo del horno de RSiC es el recipiente central de los equipos de alta temperatura. Este tubo de horno de carburo de silicio de alta pureza crea un entorno sellado, uniforme y libre de contaminantes, esencial para el procesamiento de obleas.
Funciones principales:
Para albergar obleas (cargadas en naves de obleas) y facilitar pasos críticos de alta temperatura, como difusión, oxidación, recocido y deposición de película delgada.
Para proporcionar un recinto hermético, el tubo de horno RSiC permite un control preciso sobre el flujo y la distribución de gases reactivos (por ejemplo, O₂, N₂).
Las propiedades excepcionales del tubo de horno RSiC garantizan la consistencia del proceso, maximizan el rendimiento y son fundamentales para la producción de dispositivos semiconductores avanzados.
EMBALAJE
NUESTRA VENTAJA
Riseport Global Traders Ltd. (Shenyang) se centra en productos de carburo de silicio (SiC) y ha desarrollado un modelo de servicios comerciales transfronterizos para toda la cadena industrial del SiC mediante la integración de recursos. Cuenta con una ventaja competitiva al abarcar aspectos diferenciados de toda la cadena industrial, integrando el suministro de materias primas, la personalización de productos y otros eslabones. Mediante la adquisición centralizada, reduce los costos marginales y logra una respuesta rápida, mejorando la eficiencia y ahorrando costos a los compradores. Ofrece servicios de productos personalizados para satisfacer las diferentes necesidades de los clientes, integrando logística, aduanas, liquidación y otros eslabones, y brindando un proceso completo y servicios convenientes.
