Semiconductor de carburo de silicio (SiC) de 6 pulgadas de alta dureza
La nave de oblea de carburo de silicio tiene múltiples ventajas significativas, lo que hace que la nave de oblea de SiC sea excepcional en entornos hostiles como alta temperatura, alta limpieza y fuerte corrosión.
La navecilla de carburo de silicio para obleas posee una alta estabilidad térmica. Su temperatura de trabajo a largo plazo puede alcanzar entre 1350 °C y 1650 °C, lo que cumple con los requisitos de los principales procesos de semiconductores, como la deposición química en fase de vapor (CVD), la difusión y el recocido, entre otros. La navecilla de carburo para obleas no se ablanda ni se deforma a 1700 °C durante un corto periodo de tiempo. Es adecuada para equipos de alto nivel, como los hornos de obleas individuales de carburo de silicio.
La oblea de carburo de silicio presenta un bajo coeficiente de expansión térmica y una excelente estabilidad al choque térmico, lo que le permite soportar cambios bruscos de temperatura y reducir el agrietamiento estructural causado por la tensión térmica. Incluso en atmósferas complejas de alta temperatura, la oblea de carburo de silicio mantiene una buena morfología y un buen rendimiento.
Las navecillas de obleas de SiC presentan una limpieza superficial extremadamente alta y un bajo nivel de contaminación. El material posee una alta pureza y un contenido extremadamente bajo de impurezas metálicas, lo que evita la contaminación secundaria de las obleas de silicio. La rugosidad superficial Ra se puede controlar por debajo de 0,1 μm, cumpliendo así con los estrictos requisitos de limpieza de los procesos avanzados.
Además, la personalización de la nave de obleas de SiC logra ranuras para dientes sin rebabas ni daños, y se puede personalizar en varios tamaños, como nave de obleas de 4 pulgadas, nave de obleas de 6 pulgadas, nave de obleas de 8 pulgadas, nave de obleas de 12 pulgadas, etc.
Por último, la estructura de la nave de oblea de SiC tiene una alta resistencia y una larga vida útil, con una vida útil promedio de 5 a 10 veces más larga que las naves de cuarzo tradicionales, lo que reduce significativamente la frecuencia de cambio de equipos y los costos generales de propiedad.
PARÁMETROS TÉCNICOS DEL MATERIAL
Industrias de semiconductores y fotovoltaicos | RSiC |
Pureza del SiC (%) | 99.9-99.99 |
Densidad aparente (g/cm3) | 2.65-2.75 |
Porosidad aparente (%) | 15-16 |
Resistencia a temperatura ambiente (MPa) | 90 |
Resistencia a 1300 ℃ (MPa) | 100 |
Resistencia de conexión del cuerpo sinterizado (MPa) | 25 |
DETALLE DEL PRODUCTO
Este producto es una navecilla para obleas de 6 pulgadas con un diámetro de 150 mm, que se utiliza para transportar la oblea correspondiente de 6 pulgadas. La cantidad de obleas que una navecilla para obleas de 6 pulgadas puede alojar suele ser de entre 25 y 100.
En comparación con los materiales de cuarzo, las obleas de 6 pulgadas presentan diversas características de la cerámica de carburo de silicio. Estas obleas no se deforman fácilmente por flexión ni por tensión térmica, y se adaptan al entorno agresivo de reacción de corrosión intensa y temperaturas ultraaltas en las uniones de fabricación de obleas. La cerámica de carburo de silicio es el mejor material para obleas, y las obleas de 6 pulgadas también son un producto emergente en el mercado.
EMBALAJE
SOBRE NOSOTROS
Riseport Global Traders Ltd. (Shenyang) es una empresa integrada con la industria y el comercio, especializada en soluciones personalizadas de carburo de silicio. Ofrecemos servicios integrales de OEM y ODM, fabricando mobiliario para hornos a medida mediante personalización dimensional y diseño técnico. Con el respaldo de la validación de muestras y estrictos estándares de calidad, garantizamos un rendimiento fiable para diversas necesidades de producción.
