La nave de obleas de SiC es un transportador clave en los procesos de fabricación de semiconductores y de crecimiento de cristales, y se utiliza principalmente para transportar obleas de silicio o sustratos de carburo de silicio en entornos de alta temperatura. La oblea de carburo de silicio tiene ventajas como alta pureza, resistencia a altas temperaturas (por encima de 1600 ° C), resistencia a la corrosión ácida y alcalina, bajo coeficiente de expansión térmica y alta conductividad térmica.
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