Los tubos de hornos semiconductores (como los que se utilizan en hornos de difusión, hornos de oxidación, etc.) deben cumplir requisitos estrictos como pureza ultra alta, estabilidad a altas temperaturas y resistencia al choque térmico. El tubo de horno RSiC se ha convertido en un material común debido a sus excelentes propiedades. La pureza del cuerpo sinterizado es superior a 3N y la precisión de procesamiento es de 0,01 mm.
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El barril de aislamiento de la cámara del horno es un componente clave del campo térmico utilizado en procesos de fabricación de semiconductores, como el crecimiento de silicio monocristalino y el tratamiento térmico de obleas. El barril de aislamiento debe cumplir con los requisitos de temperatura extremadamente alta, alta pureza y excelente aislamiento térmico.
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La placa de protección térmica del horno es el componente principal del semiconductor de alta temperatura, la energía fotovoltaica. Equipo de sinterización de material nuevo de placa de protección térmica RSiC. La placa de protección térmica RSiC tiene las características de resistencia a altas temperaturas, baja pérdida de calor y larga vida útil.
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La paleta voladiza de carburo de silicio recristalizado es un componente cerámico de alto rendimiento, utilizado principalmente en industrias como la química, la metalúrgica, la protección del medio ambiente y los semiconductores debido a su resistencia superior a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, resistencia al desgaste y buena estabilidad al choque térmico.
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Tubo de horno de carburo de silicio recristalizado (RSiC): El tubo de horno de carburo de silicio recristalizado es un componente clave en los equipos de fabricación de semiconductores, y se utiliza principalmente en cámaras de proceso de alta temperatura (como hornos de crecimiento epitaxial, implantación iónica y difusión). La pureza del cuerpo sinterizado es superior a 3 N y la precisión de procesamiento puede alcanzar los 0,01 mm, cumpliendo así los requisitos de pureza ultraalta, resistencia a la corrosión y precisión de tamaño.
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