Los tubos de hornos semiconductores (como los que se utilizan en hornos de difusión, hornos de oxidación, etc.) deben cumplir requisitos estrictos como pureza ultra alta, estabilidad a altas temperaturas y resistencia al choque térmico. El tubo de horno RSiC se ha convertido en un material común debido a sus excelentes propiedades. La pureza del cuerpo sinterizado es superior a 3N y la precisión de procesamiento es de 0,01 mm.
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Tubo de horno de carburo de silicio recristalizado (RSiC): El tubo de horno de carburo de silicio recristalizado es un componente clave en los equipos de fabricación de semiconductores, y se utiliza principalmente en cámaras de proceso de alta temperatura (como hornos de crecimiento epitaxial, implantación iónica y difusión). La pureza del cuerpo sinterizado es superior a 3 N y la precisión de procesamiento puede alcanzar los 0,01 mm, cumpliendo así los requisitos de pureza ultraalta, resistencia a la corrosión y precisión de tamaño.
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