Bandejas semiconductoras RSiC de 12 pulgadas con portador de obleas de tres columnas
En la industria de semiconductores, el soporte de oblea de 12 pulgadas desempeña un papel fundamental en las líneas de producción de chips de silicio de 12 pulgadas (300 mm). Este soporte de oblea de RSiC sirve como componente consumible de alto rendimiento integrado en los equipos de procesamiento de silicio de 12 pulgadas existentes, especialmente en hornos de difusión verticales. Fabricado con carburo de silicio de alta pureza, este avanzado soporte de oblea de carburo de silicio recristalizado ofrece características de rendimiento excepcionales:
1. Resistencia excepcional a altas temperaturas: el portador de obleas de 12 pulgadas mantiene la integridad mecánica incluso a temperaturas superiores a 1650 °C, lo que evita la deformación y al mismo tiempo soporta de forma segura obleas pesadas de 12 pulgadas.
2. Estabilidad térmica superior y resistencia a los golpes: el portador de oblea RSiC soporta ciclos de calentamiento y enfriamiento extremadamente rápidos sin agrietarse, lo que acorta significativamente los ciclos de proceso y mejora la capacidad de producción.
3. Pureza ultra alta y baja contaminación: este portador de oblea de carburo de silicio recristalizado contiene impurezas metálicas mínimas, menos contaminación que el cuarzo, lo que lo hace ideal para procesos avanzados sensibles a las impurezas.
4. Alta conductividad térmica: el portador de oblea de 12 pulgadas promueve una distribución uniforme de la temperatura dentro del tubo del horno, mejorando la consistencia del proceso.
Nuestras capacidades de fabricación incluyen soportes de teselas, soportes de obleas de tres y cuatro columnas. Estas soluciones de soportes de obleas de RSiC se aplican ampliamente en las industrias de semiconductores y fotovoltaica, siendo especialmente adecuadas para procesos de oxidación e implantación de iones con obleas de menor tamaño.
PARÁMETROS TÉCNICOS DEL MATERIAL
Industrias de semiconductores y fotovoltaicos | RSiC |
Pureza del SiC (%) | 99.9-99.99 |
Densidad aparente (g/cm3) | 2.65-2.75 |
Porosidad aparente (%) | 15-16 |
Resistencia a temperatura ambiente (MPa) | 90 |
Resistencia a 1300 ℃ (MPa) | 100 |
Resistencia de conexión del cuerpo sinterizado (MPa) | 25 |
DETALLE DEL PRODUCTO
Portador de oblea de carburo de silicio recristalizado
El soporte de oblea de carburo de silicio recristalizado se fabrica con sustrato de carburo de silicio de alta pureza mediante tecnología de sinterización por recristalización. Este soporte de oblea de RSiC se integra con dientes y ranuras mecanizados con precisión, lo que da como resultado superficies lisas y sin rebabas.
Diseñado específicamente para sectores manufactureros que requieren máxima limpieza y estabilidad, como semiconductores, sistemas fotovoltaicos y LED, la función principal de este soporte para obleas de 12 pulgadas es soportar obleas de silicio de forma segura y estable. Este avanzado soporte para obleas de RSiC se utiliza ampliamente en procesos críticos como la deposición química de vapor (CVD), la difusión térmica y el recocido a alta temperatura.
EMBALAJE
NUESTRO SERVICIO
Riseport Global Traders Ltd. (Shenyang) ofrece servicios OEM y ODM, control de calidad durante todo el proceso, información sobre el progreso de los pedidos en tiempo real, asesoramiento técnico profesional y respuesta rápida a problemas posventa. También ofrecemos soluciones logísticas internacionales personalizadas para facilitar a nuestros clientes las actualizaciones tecnológicas y la optimización de la cadena de suministro, garantizando una experiencia global sin preocupaciones desde la adquisición hasta la aplicación.
